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品種名稱

英文名

化學(xué)式

純度（%）

充裝容器（L）

充裝量（Kg）

氨氣

Ammonia

NH3

99.999

44、16、8

22.7、6.8、4.1

99.9997

砷烷

Arsine

AsH3

99.999

50、25、10、5

22.7、11.3、4.5、2.3

99.9999

三氯化硼

Boron trichloride

BCl3

99.99

44、16

36.3、10

99.999

三氟化硼

Boron trifluoride

BF3

99.99

44、16、8

27.2、9.1、4.5

99.999

二氯二氫硅

Dichlorosilane

SiH2Cl2

99.9

44、16

40.9、10

三氟甲烷

Halocarbon-23

CHF3

99.995

44、16

31.8、5.0

99.999

氯化氫

Hydrogen chloride

HCl

99.995

49、44、16

31.7、27.2、9.1

99.9995

氧化亞氮

Nitrous oxide

N2O

99.9998

44、16、8

27.2、9.0、4.5

三氟化氮

Nitrogen trifluoride

NF3

99.995

44、17

20、7.7

氯硅烷

Silicon tetrachloride

SiCl4

99.94

210MC、38

272、45.4

硅烷

Silane

SiH4

99.999

49、44

14、10

99.9995

磷烷

Phosphine

PH3

99.999

44、16、8、3

13.6、4.1、2.3、0.7

組 分 氣 體

稀 釋 氣 體

  硅烷或氯硅烷或二氯二氫硅或乙硅烷

氦、氬、氫、氮

參雜氣體

蝕刻氣體

硼化合物：
磷化合物：
砷化合物：

乙硼烷 三氯化硼、溴化硼+氦+氬+氫
磷烷、氯化磷、溴化磷+氦+氬+氫
砷烷、三氯化砷+氦+氬+氫

鉑：三氟三氯乙烷+氧.四氟化碳+氧
聚硅：四氟化碳+氧. 乙烷+氯
鋁：氯硅烷+四氯化碳+（氬.氮）
鉻：四氯化碳+氧.四氯化碳+空氣
鉬：二氟二氯化碳+氧.四氟化碳+氧
鎢或硅：四氟化碳+氧