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組 分 氣 體 |
稀 釋 氣 體 |
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硅烷或氯硅烷或二氯二氫硅或乙硅烷 |
氦、氬、氫、氮 |
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參雜氣體 |
蝕刻氣體 |
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硼化合物： |
乙硼烷 三氯化硼、溴化硼+氦+氬+氫 |
鉑：三氟三氯乙烷+氧.四氟化碳+氧 |
