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類別 Category

組成及含量 Component＆Mixing Range

用途 Purpose

氦氣

（0.5%-10%）He+N2(Air)

用于熱導(dǎo)儀和質(zhì)譜儀的檢漏

鹵碳素

（0.5%-2%）鹵碳素+N2(Air)

用于電子捕獲儀、熱導(dǎo)色譜儀和氫火焰色譜儀的檢漏

六氟化硫

（0.005%-10%）SF6+N2(Air)

用于熱導(dǎo)和電子捕獲儀的檢漏

氪-85

（0.5%-2%）85Kr+N2

用于放射性儀器的檢漏